研磨设备及研磨方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911017764.0

申请日：

2019-10-24

公开(公告)号：

CN112706071A

公开(公告)日：

2021-04-27

发明(设计)人：

郑雯郭顺华曾明

申请人：

申请人地址：

266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401

IPC主分类号：

B24B37005

IPC分类号：

B24B3711 B24B3727 B24B3734 B24B5702

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-27	公开	公开
2021-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/005 申请日:20191024

共 50 条

[1]

研磨垫、化学机械研磨设备及研磨方法 [P].

徐乃康 ;

王建雄 ;

杨志远 .

中国专利 :CN118204900A ,2024-06-18

[2]

化学机械研磨方法和研磨设备 [P].

曾明 ;

周祖源 ;

孟昭生 ;

汤舍予 .

中国专利 :CN102380818A ,2012-03-21

[3]

研磨设备和研磨方法 [P].

颜嘉祥 ;

张简鹏崇 .

中国专利 :CN118617299A ,2024-09-10

[4]

研磨台、研磨设备及吸附移动方法 [P].

李婷 ;

刘欢 ;

周庆亚 ;

孟晓云 ;

张晓阳 ;

贾若雨 .

中国专利 :CN118418035A ,2024-08-02

[5]

化学机械研磨设备及研磨方法 [P].

赵敬民 ;

常建光 .

中国专利 :CN102009383A ,2011-04-13

[6]

化学机械研磨设备及研磨方法 [P].

蒋锡兵 ;

唐强 .

中国专利 :CN114833716A ,2022-08-02

[7]

研磨速率侦察装置、研磨设备及实时侦察研磨速率的方法 [P].

严钧华 ;

朱也方 ;

王从刚 ;

丁弋 .

中国专利 :CN103753379A ,2014-04-30

[8]

研磨设备及研磨方法 [P].

付金东 .

中国专利 :CN119036305A ,2024-11-29

[9]

研磨方法及研磨设备 [P].

郭登极 ;

李徕 ;

王序进 ;

赵泽佳 ;

王浩宇 ;

林建军 ;

郭镇斌 ;

许佼 .

中国专利 :CN119098827B ,2025-10-24

[10]

研磨方法及研磨设备 [P].

郭登极 ;

李徕 ;

王序进 ;

赵泽佳 ;

王浩宇 ;

林建军 ;

郭镇斌 ;

许佼 .

中国专利 :CN119098827A ,2024-12-10

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