一种磁控溅射反应气氛自反馈控制系统及其使用方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611149231.4

申请日：

2016-12-14

公开(公告)号：

CN106756865A

公开(公告)日：

2017-05-31

发明(设计)人：

文晓斌

申请人：

申请人地址：

518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁北路龙岗天安数码创新园二号厂房B501

IPC主分类号：

C23C1454

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362

代理人：

郭防

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-06-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101729179650 IPC(主分类):C23C 14/54 专利申请号:2016111492314 申请日:20161214
2021-02-12	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/54 申请公布日:20170531
2017-05-31	公开	公开

共 50 条

[1]

一种磁控溅射反应气氛自反馈控制系统 [P].

文晓斌 .

中国专利 :CN206232812U ,2017-06-09

[2]

一种用于反应磁控溅射的恒压气氛控制系统 [P].

邾根祥 ;

朱沫浥 ;

方辉 ;

安唐林 ;

王卫 .

中国专利 :CN208008885U ,2018-10-26

[3]

磁控溅射控制系统及其控制方法 [P].

李晓强 ;

兰玥 ;

侯珏 ;

文莉辉 .

中国专利 :CN110484884A ,2019-11-22

[4]

无电反馈控制系统及其使用方法 [P].

张潜 ;

张岩 ;

顾永胜 .

中国专利 :CN108561616A ,2018-09-21

[5]

一种用于反应磁控溅射的反应气体控制系统及调试方法 [P].

许磊 ;

宋永辉 ;

刘超 ;

姜颖 .

中国专利 :CN118166328A ,2024-06-11

[6]

一种LED灯光控制系统及其使用方法 [P].

周椋 .

中国专利 :CN111712010B ,2020-09-25

[7]

一种磁控溅射镀膜系统及其控制方法 [P].

乔利杰 ;

宋述兵 ;

杨会生 ;

庞晓露 ;

王瑞俊 ;

郑宝林 .

中国专利 :CN110592542A ,2019-12-20

[8]

反应磁控溅射等离子体稳定性过程控制系统及方法 [P].

王庆 .

中国专利 :CN105441900A ,2016-03-30

[9]

一种车位控制系统及其使用方法 [P].

陈旆 .

中国专利 :CN112465996A ,2021-03-09

[10]

一种染色在线反馈控制系统及其方法 [P].

张建新 ;

李上锦 ;

张永兴 .

中国专利 :CN104020800A ,2014-09-03

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