屏蔽栅沟槽型场效应晶体管及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202111342739.7
申请日
2021-11-12
公开(公告)号
CN114141875A
公开(公告)日
2022-03-04
发明(设计)人
张子敏 王宇澄 虞国新 吴飞 钟军满
申请人
申请人地址
214000 江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号A3幢8层810
IPC主分类号
H01L2978
IPC分类号
H01L21336 H01L29423 H01L2906
代理机构
广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙) 44438
代理人
刁益帆
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
双沟槽型屏蔽栅场效应晶体管及其制备方法 [P]. 
张子敏 ;
王宇澄 ;
虞国新 ;
吴飞 ;
钟军满 .
中国专利 :CN114566547A ,2022-05-31
[2]
屏蔽栅沟槽型场效应晶体管及其制备方法 [P]. 
张子敏 ;
王宇澄 ;
虞国新 ;
吴飞 ;
钟军满 .
中国专利 :CN114141861A ,2022-03-04
[3]
屏蔽栅沟槽型场效应晶体管及其制备方法 [P]. 
张子敏 ;
王宇澄 ;
虞国新 ;
吴飞 ;
钟军满 .
中国专利 :CN114141861B ,2025-09-05
[4]
屏蔽栅沟槽场效应晶体管及其制备方法 [P]. 
宋勇 ;
李雪梅 ;
张雪 .
中国专利 :CN113035715B ,2021-06-25
[5]
变掺杂浓度结构的屏蔽栅沟槽型场效应晶体管及制备方法 [P]. 
张子敏 ;
王宇澄 ;
虞国新 ;
吴飞 ;
钟军满 .
中国专利 :CN114744037A ,2022-07-12
[6]
变掺杂结构屏蔽栅沟槽型场效应晶体管及其制备方法 [P]. 
张子敏 ;
王宇澄 ;
虞国新 ;
吴飞 ;
钟军满 .
中国专利 :CN114156335B ,2025-09-09
[7]
变掺杂结构屏蔽栅沟槽型场效应晶体管及其制备方法 [P]. 
张子敏 ;
王宇澄 ;
虞国新 ;
吴飞 ;
钟军满 .
中国专利 :CN114156335A ,2022-03-08
[8]
屏蔽栅斜沟槽型场效应晶体管及其制备方法 [P]. 
张子敏 ;
王宇澄 ;
虞国新 ;
吴飞 ;
钟军满 .
中国专利 :CN114284342A ,2022-04-05
[9]
屏蔽栅斜沟槽型场效应晶体管及其制备方法 [P]. 
张子敏 ;
王宇澄 ;
虞国新 ;
吴飞 ;
钟军满 .
中国专利 :CN114284342B ,2025-10-28
[10]
沟槽栅场效应晶体管及其制备方法 [P]. 
许耀光 ;
刘安淇 ;
蔡建成 ;
郑俊义 .
中国专利 :CN114927567A ,2022-08-19