半导体器件和半导体衬底

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专利类型
发明
申请号
CN00806903.4
申请日
2000-03-28
公开(公告)号
CN1210809C
公开(公告)日
2002-05-15
发明(设计)人
杉井信之 中川清和 山中伸也 宫尾正信
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
H01L2978
IPC分类号
代理机构
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人
杜日新
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
半导体衬底生产方法及半导体衬底和半导体器件 [P]. 
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[3]
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[5]
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[10]
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