单晶硅的制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN201780040672.7
申请日
2017-02-23
公开(公告)号
CN109415843A
公开(公告)日
2019-03-01
发明(设计)人
斋藤康裕 最胜寺俊昭 田边一美
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
C30B2906
IPC分类号
C30B1500 C30B1520
代理机构
中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人
童春媛;杨戬
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
单晶硅的制造方法及单晶硅 [P]. 
横山龙介 ;
藤原俊幸 .
中国专利 :CN108291327A ,2018-07-17
[2]
单晶硅的制造方法及单晶硅制造装置 [P]. 
坂本英城 ;
杉村涉 ;
横山龙介 ;
松岛直辉 ;
四井拓也 .
日本专利 :CN120981615A ,2025-11-18
[3]
单晶硅的制造方法及单晶硅制造装置 [P]. 
杉村涉 ;
横山龙介 ;
坂本英城 ;
松岛直辉 ;
村松祐 .
日本专利 :CN121002233A ,2025-11-21
[4]
单晶硅的制造方法、单晶硅及硅晶片 [P]. 
伊关崇志 ;
鸣嶋康人 .
日本专利 :CN114929950B ,2024-08-23
[5]
单晶硅的制造方法、单晶硅及硅晶片 [P]. 
伊关崇志 ;
鸣嶋康人 .
中国专利 :CN114929950A ,2022-08-19
[6]
单晶硅晶片及单晶硅的制造方法 [P]. 
樱田昌弘 ;
小林武史 ;
森达生 ;
布施川泉 ;
太田友彦 .
中国专利 :CN1406292A ,2003-03-26
[7]
单晶硅制造方法以及单晶硅晶片 [P]. 
菅原孝世 ;
星亮二 .
中国专利 :CN110036143A ,2019-07-19
[8]
单晶硅的制造方法 [P]. 
梶原薰 ;
末若良太 ;
田中英树 ;
金原崇浩 .
中国专利 :CN108350603A ,2018-07-31
[9]
单晶硅的制造方法 [P]. 
林三照 ;
杉村涉 ;
小野敏昭 ;
藤原俊幸 .
中国专利 :CN108779577A ,2018-11-09
[10]
单晶硅的制造方法 [P]. 
川添真一 ;
琴冈敏朗 ;
堤有二 .
中国专利 :CN114540938A ,2022-05-27