实现自对准型双重图形的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210275760.4

申请日：

2012-08-03

公开(公告)号：

CN103578932B

公开(公告)日：

2014-02-12

发明(设计)人：

王新鹏张海洋

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21033

IPC分类号：

H01L21311

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101578335405 IPC(主分类):H01L 21/033 专利申请号:2012102757604 申请日:20120803
2016-01-06	授权	授权
2014-02-12	公开	公开

共 50 条

[1]

自对准双重图形化方法 [P].

胡华勇 .

中国专利 :CN103681293B ,2014-03-26

[2]

自对准双重图形化的方法 [P].

郭晓波 .

中国专利 :CN109860030B ,2019-06-07

[3]

自对准双重图形的形成方法 [P].

刘佳磊 .

中国专利 :CN104701158A ,2015-06-10

[4]

自对准双重图形的形成方法 [P].

祖延雷 ;

胡华勇 ;

林益世 .

中国专利 :CN103681234A ,2014-03-26

[5]

自对准双重图形的形成方法 [P].

沈满华 ;

祖延雷 .

中国专利 :CN103839783B ,2014-06-04

[6]

自对准双重图形的形成方法 [P].

沈满华 .

中国专利 :CN103632928A ,2014-03-12

[7]

一种自对准双重图形化的方法 [P].

罗啸 ;

陈春晖 ;

熊涛 ;

舒清明 .

中国专利 :CN107359111A ,2017-11-17

[8]

一种自对准双重图形化的方法 [P].

罗啸 ;

陈春晖 ;

熊涛 ;

舒清明 .

中国专利 :CN105977141A ,2016-09-28

[9]

一种自对准双重图形化的方法 [P].

郭晓波 .

中国专利 :CN111599675A ,2020-08-28

[10]

一种自对准双重图形成像方法 [P].

张利斌 ;

韦亚一 .

中国专利 :CN106200272A ,2016-12-07

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