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深沟槽刻蚀方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201010563591.5
申请日：
2010-11-29
公开(公告)号：
CN102479676A
公开(公告)日：
2012-05-30
发明(设计)人：
姚嫦娲
杨华
刘鹏
陈东强
申请人：
申请人地址：
201206 上海市浦东新区川桥路1188号
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
H01L21306
代理机构：
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人：
丁纪铁
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2012-07-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101293922654 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2010105635915 申请日:20101129 |
| 2012-05-30 | 公开 | 公开 |
| 2014-04-23 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700355531 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2010105635915 申请公布日:20120530 |