沟槽刻蚀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211005989.6

申请日：

2022-08-22

公开(公告)号：

CN115223862B

公开(公告)日：

2025-03-14

发明(设计)人：

杨光何忠义张建坤蒋中伟王京周清军

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L21/3065

IPC分类号：

H01J37/32

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;王婷

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种沟槽刻蚀方法及刻蚀装置 [P].

符雅丽 .

中国专利 :CN104752152B ,2015-07-01

[2]

沟槽刻蚀方法 [P].

赵月梅 ;

曾伟雄 ;

孙武 ;

徐若男 .

中国专利 :CN112086351A ,2020-12-15

[3]

沟槽刻蚀方法 [P].

徐若男 ;

孙武 ;

赵月梅 ;

韩宝东 .

中国专利 :CN111986992A ,2020-11-24

[4]

沟槽刻蚀的方法及量测沟槽深度的装置 [P].

张海洋 ;

孙武 .

中国专利 :CN101894755B ,2010-11-24

[5]

刻蚀沟槽的方法 [P].

崔锺武 ;

金成基 ;

李俊杰 ;

周娜 ;

李琳 ;

王垚 .

中国专利 :CN111584358A ,2020-08-25

[6]

深沟槽刻蚀方法 [P].

陈跃华 ;

熊磊 .

中国专利 :CN113506734A ,2021-10-15

[7]

衬底沟槽刻蚀方法 [P].

郑浩田 ;

蒋中伟 .

中国专利 :CN115547825A ,2022-12-30

[8]

沟槽刻蚀工艺方法 [P].

柯行飞 .

中国专利 :CN106128994B ,2016-11-16

[9]

深沟槽刻蚀方法 [P].

周策 ;

谭理 ;

殷敏 ;

王玉新 ;

丁佳 .

中国专利 :CN119108275A ,2024-12-10

[10]

刻蚀沟槽的方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN102041508A ,2011-05-04

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