深沟槽刻蚀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110641000.X

申请日：

2021-06-09

公开(公告)号：

CN113506734A

公开(公告)日：

2021-10-15

发明(设计)人：

陈跃华熊磊

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

H01L21329

IPC分类号：

H01L2994 H01L21308

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

焦健

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/329 申请日:20210609
2021-10-15	公开	公开

共 50 条

[1]

深沟槽刻蚀方法 [P].

周策 ;

谭理 ;

殷敏 ;

王玉新 ;

丁佳 .

中国专利 :CN119108275A ,2024-12-10

[2]

深沟槽的刻蚀方法 [P].

郭海亮 ;

姚道州 ;

赵志 ;

任婷婷 ;

汪健 ;

王玉新 .

中国专利 :CN118248540A ,2024-06-25

[3]

深沟槽刻蚀方法 [P].

姚嫦娲 ;

杨华 ;

刘鹏 ;

陈东强 .

中国专利 :CN102479676A ,2012-05-30

[4]

沟槽的刻蚀方法 [P].

李昊 .

中国专利 :CN111403275B ,2020-07-10

[5]

深沟槽的形成方法 [P].

肖培 .

中国专利 :CN102324387A ,2012-01-18

[6]

一种深沟槽刻蚀方法 [P].

李明 ;

刁宇飞 ;

姚雪霞 .

中国专利 :CN111584357B ,2024-03-15

[7]

深沟槽刻蚀工艺针刺状缺陷的解决方法 [P].

黄志刚 ;

管军 ;

吴智勇 .

中国专利 :CN103137463A ,2013-06-05

[8]

一种深沟槽刻蚀方法 [P].

李明 ;

刁宇飞 ;

姚雪霞 .

中国专利 :CN111584357A ,2020-08-25

[9]

一种深沟槽刻蚀方法 [P].

陈煜 ;

朱焱均 ;

王尧林 ;

燕强 .

中国专利 :CN119993834B ,2025-06-27

[10]

一种深沟槽刻蚀方法 [P].

陈煜 ;

朱焱均 ;

王尧林 ;

燕强 .

中国专利 :CN119993834A ,2025-05-13

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