一种深沟槽刻蚀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010305632.4

申请日：

2020-04-17

公开(公告)号：

CN111584357A

公开(公告)日：

2020-08-25

发明(设计)人：

李明刁宇飞姚雪霞

申请人：

申请人地址：

518172 广东省深圳市龙岗区宝龙工业城宝龙七路5号方正微电子工业园

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

谢曲曲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-25	公开	公开
2020-09-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20200417

共 50 条

[1]

一种深沟槽刻蚀方法 [P].

李明 ;

刁宇飞 ;

姚雪霞 .

中国专利 :CN111584357B ,2024-03-15

[2]

深沟槽刻蚀方法 [P].

周策 ;

谭理 ;

殷敏 ;

王玉新 ;

丁佳 .

中国专利 :CN119108275A ,2024-12-10

[3]

一种深沟槽刻蚀方法 [P].

陈煜 ;

朱焱均 ;

王尧林 ;

燕强 .

中国专利 :CN119993834B ,2025-06-27

[4]

一种深沟槽刻蚀方法 [P].

陈煜 ;

朱焱均 ;

王尧林 ;

燕强 .

中国专利 :CN119993834A ,2025-05-13

[5]

深沟槽的刻蚀方法 [P].

郭海亮 ;

姚道州 ;

赵志 ;

任婷婷 ;

汪健 ;

王玉新 .

中国专利 :CN118248540A ,2024-06-25

[6]

深沟槽刻蚀方法 [P].

陈跃华 ;

熊磊 .

中国专利 :CN113506734A ,2021-10-15

[7]

深沟槽刻蚀方法 [P].

姚嫦娲 ;

杨华 ;

刘鹏 ;

陈东强 .

中国专利 :CN102479676A ,2012-05-30

[8]

一种深沟槽刻蚀设备及其方法 [P].

徐震宇 ;

章安娜 ;

许凌燕 .

中国专利 :CN104347391A ,2015-02-11

[9]

超级结深沟槽刻蚀工艺改进方法 [P].

王飞 ;

钟秋 .

中国专利 :CN103227100A ,2013-07-31

[10]

一种沟槽刻蚀方法及刻蚀装置 [P].

符雅丽 .

中国专利 :CN104752152B ,2015-07-01

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