一种多晶硅薄膜的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110307025.2

申请日：

2011-10-11

公开(公告)号：

CN102505139A

公开(公告)日：

2012-06-20

发明(设计)人：

史亮亮

申请人：

申请人地址：

528225 广东省佛山市南海区狮山经济开发区北园中路11号

IPC主分类号：

C30B102

IPC分类号：

C30B2906 H01L21324

代理机构：

北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280

代理人：

王勇

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-05-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101715695558 IPC(主分类):C30B 1/02 专利申请号:2011103070252 申请公布日:20120620
2012-06-20	公开	公开

共 50 条

[1]

多晶硅薄膜的制造方法 [P].

秦明 ;

黄庆安 .

中国专利 :CN1316770A ,2001-10-10

[2]

多晶硅薄膜的制造方法 [P].

张茂益 .

中国专利 :CN1315156C ,2005-02-16

[3]

多晶硅薄膜的制造方法 [P].

张茂益 .

中国专利 :CN1581427A ,2005-02-16

[4]

多晶硅薄膜制造方法以及使用该多晶硅薄膜的设备 [P].

朴志容 ;

朴惠香 .

中国专利 :CN1619775A ,2005-05-25

[5]

一种多晶硅薄膜的制备方法及多晶硅薄膜 [P].

高超飞 ;

葛晶涛 ;

刘旭亮 ;

沈文涛 ;

张明照 .

中国专利 :CN108878272A ,2018-11-23

[6]

低温多晶硅薄膜制造方法 [P].

颜硕廷 .

中国专利 :CN101168474B ,2008-04-30

[7]

低温多晶硅薄膜的制造方法 [P].

张世昌 ;

洪郁婷 ;

江典声 ;

李光振 ;

林敬伟 ;

蔡耀铭 .

中国专利 :CN1635610A ,2005-07-06

[8]

低温多晶硅薄膜的制造方法 [P].

翁健森 ;

张茂益 ;

张志清 .

中国专利 :CN100349259C ,2004-10-13

[9]

多晶硅薄膜的制造方法和用多晶硅薄膜制造的显示器件 [P].

朴志容 ;

朴惠香 .

中国专利 :CN100375233C ,2005-05-18

[10]

制造多晶硅薄膜的方法 [P].

严枰镕 .

中国专利 :CN101317249B ,2008-12-03

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