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金属氮化物的制造方法

被引：0
申请号：
CN202080081038.X
申请日：
2020-12-02
公开(公告)号：
CN114728788A
公开(公告)日：
2022-07-08
发明(设计)人：
若松智 秋元光司
申请人：
申请人地址：
日本山口
IPC主分类号：
C01B2106
IPC分类号：
代理机构：
中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038
代理人：
吴宗颐
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-07-08 公开 公开
2022-07-26 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C01B 21/06 申请日:20201202
共 50 条
[1]
金属氮化物的制造方法 [P]. 
若松智 ;
秋元光司 .
中国专利 :CN114728787A ,2022-07-08
[2]
金属氮化物及金属氮化物的制造方法 [P]. 
辻秀人 .
中国专利 :CN1993292B ,2007-07-04
[3]
金属氮化物的制造方法 [P]. 
常世田和彦 ;
铃木将治 ;
初森智纪 .
中国专利 :CN102971256B ,2013-03-13
[4]
Ⅲ族金属氮化物单晶的制造方法 [P]. 
平尾崇行 ;
今井克宏 ;
市村干也 .
中国专利 :CN101925696B ,2010-12-22
[5]
碱金属氮化物或碱土金属氮化物的制造方法 [P]. 
铃木将治 ;
常世田和彦 ;
铃木务 .
中国专利 :CN102666373A ,2012-09-12
[6]
制造金属氮化物薄膜的方法 [P]. 
陈敏璋 ;
江宇森 ;
黄冠晟 ;
鍾冯钧 .
中国专利 :CN120443139A ,2025-08-08
[7]
氮化物结晶的制造方法、氮化物结晶及其制造装置 [P]. 
三川丰 ;
清见真纪子 ;
镜谷勇二 ;
石黑彻 .
中国专利 :CN102272357A ,2011-12-07
[8]
III族金属氮化物单晶的制造方法 [P]. 
下平孝直 ;
今井克宏 ;
岩井真 .
中国专利 :CN102471920B ,2012-05-23
[9]
氮化物结晶的制造方法 [P]. 
今井克宏 ;
岩井真 ;
坂井正宏 ;
下平孝直 ;
东原周平 ;
平尾崇行 .
中国专利 :CN106068340A ,2016-11-02
[10]
Ⅲ族氮化物结晶的制造方法、Ⅲ族氮化物结晶的制造装置及Ⅲ族氮化物结晶 [P]. 
皿山正二 ;
岩田浩和 ;
布施晃广 .
中国专利 :CN101175875A ,2008-05-07
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