单裸片微机电系统声学换能器及制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN200780010986.9
申请日
2007-03-29
公开(公告)号
CN101427593B
公开(公告)日
2009-05-06
发明(设计)人
皮尔明·布龙巴赫 莫滕·贝格·阿诺尔德斯 莫滕·金尼鲁普
申请人
申请人地址
丹麦罗斯基勒
IPC主分类号
H04R1904
IPC分类号
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
陈炜;李春晖
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
微机电系统声学换能器管芯 [P]. 
S·帕尔 ;
桑·博克·李 .
中国专利 :CN111294716B ,2020-06-16
[2]
微机电系统换能器以及制造微机电系统换能器的方法 [P]. 
任天令 ;
刘星予 ;
杨轶 ;
颜豪贤 ;
康乔乔 ;
王乾 ;
张彦秀 ;
刘恩峰 .
中国专利 :CN120224098A ,2025-06-27
[3]
基于沟槽的微机电换能器及制造该微机电换能器的方法 [P]. 
M·亚巴西加瓦蒂 ;
D·卡尔塔比亚诺 ;
A·A·波马里科 ;
G·罗塞利 .
中国专利 :CN108793055A ,2018-11-13
[4]
柔性微机电系统换能器的制造方法 [P]. 
南润宇 ;
李锡汉 .
中国专利 :CN1262470C ,2004-08-04
[5]
微机电系统换能器和其制造方法 [P]. 
大村昌良 ;
铃木民人 ;
铃木幸俊 .
中国专利 :CN101468785A ,2009-07-01
[6]
微机电系统换能器 [P]. 
R·E·麦克马伦 ;
R·I·拉明 ;
A·B·特雷纳 ;
T·H·胡克斯特拉 .
中国专利 :CN102056680A ,2011-05-11
[7]
微机电换能器和包括微机电换能器的系统 [P]. 
E·杜奇 ;
L·巴尔多 .
中国专利 :CN208736597U ,2019-04-12
[8]
微机电系统压电换能器及制作方法 [P]. 
徐景辉 .
中国专利 :CN109244232A ,2019-01-18
[9]
微机电系统超声换能器器件 [P]. 
F·方希里诺 .
:CN221453218U ,2024-08-02
[10]
具有改进特性的压电微机电声学换能器及对应的制造工艺 [P]. 
F·塞利尼 ;
S·阿多尔诺 .
中国专利 :CN112004181B ,2020-11-27