具有电镀金属栅极的场效应晶体管以及金属栅极的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200410087010.X

申请日：

2004-10-22

公开(公告)号：

CN100364058C

公开(公告)日：

2005-05-04

发明(设计)人：

凯瑟琳·L·斯恩格小西里尔·卡巴拉尔伊曼纽尔·I·库珀哈里卡利亚·得里格亚尼帕纳约蒂斯·安德里卡科斯菲利普·M·维里肯

申请人：

申请人地址：

美国纽约

IPC主分类号：

H01L2128

IPC分类号：

H01L21335 H01L29772

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

王永刚

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-05-04	公开	公开
2011-12-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101160509796 IPC(主分类):H01L 21/28 专利号:ZL200410087010X 申请日:20041022 授权公告日:20080123 终止日期:20101022
2005-07-06	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-01-23	授权	授权

共 50 条

[1]

场效应晶体管的金属栅极及方法 [P].

褚涛 ;

路荣涛 ;

M·O·艾谢 ;

马巍 ;

H·王 .

中国专利 :CN111834445A ,2020-10-27

[2]

金属栅极场效应晶体管的栅极结构的制作方法 [P].

崔进韩 ;

夏许恩·戴许马克 ;

桑依 ;

李庆在 .

中国专利 :CN1577751A ,2005-02-09

[3]

用于场效应晶体管的栅极电极以及场效应晶体管 [P].

林秉顺 ;

李达元 ;

许光源 .

中国专利 :CN102104061A ,2011-06-22

[4]

双栅极场效应晶体管和生产双栅极场效应晶体管的方法 [P].

D·M·德里兀 ;

P·A·范哈尔 ;

G·T·霍夫特 .

中国专利 :CN102203974A ,2011-09-28

[5]

多栅极场效应晶体管的制造方法 [P].

王新鹏 ;

张海洋 .

中国专利 :CN103187289B ,2013-07-03

[6]

n型场效应晶体管、其金属栅极及其制造方法 [P].

张简旭珂 ;

吴斯安 ;

陈圣文 .

中国专利 :CN101950756A ,2011-01-19

[7]

多栅极场效应晶体管的制造方法 [P].

王新鹏 .

中国专利 :CN103021857A ,2013-04-03

[8]

金属栅极场效应晶体管及其制作方法 [P].

平延磊 .

中国专利 :CN103187298B ,2013-07-03

[9]

双栅极场效应晶体管 [P].

肖德元 ;

季明华 ;

吴汉明 .

中国专利 :CN101894864B ,2010-11-24

[10]

金属镶嵌三栅极鳍状场效应晶体管 [P].

S·S·艾哈迈德 ;

汪海宏 ;

俞斌 .

中国专利 :CN1902742A ,2007-01-24

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