高频电力电路、等离子处理装置、及等离子处理方法

被引：0

申请号：

CN202180005049.4

申请日：

2021-08-24

公开(公告)号：

CN114303227A

公开(公告)日：

2022-04-08

发明(设计)人：

土居谦太中村敏幸

申请人：

申请人地址：

日本国神奈川县茅崎市萩园2500番地

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239

代理人：

洪磊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-08	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子处理装置和等离子处理方法 [P].

小口元树 ;

森崎昭生 ;

花田幸纪 .

中国专利 :CN101853763A ,2010-10-06

[2]

等离子处理装置 [P].

弘中嘉之 ;

市川贵大 ;

前野敏郎 .

日本专利 :CN121003007A ,2025-11-21

[3]

等离子处理装置及等离子处理方法 [P].

黄太亨 ;

张鸿永 .

中国专利 :CN101267708A ,2008-09-17

[4]

等离子处理装置及等离子处理方法 [P].

岩井哲博 .

中国专利 :CN103140922A ,2013-06-05

[5]

等离子处理方法及等离子处理装置 [P].

大见忠弘 ;

寺本章伸 .

中国专利 :CN101273671A ,2008-09-24

[6]

等离子处理装置和等离子处理方法 [P].

桧森慎司 .

中国专利 :CN101990353A ,2011-03-23

[7]

等离子处理装置和等离子处理方法 [P].

小野寺直见 ;

乡右近清彦 ;

佐藤润 .

中国专利 :CN101877304B ,2010-11-03

[8]

等离子处理方法以及等离子处理装置 [P].

田中庆一 .

中国专利 :CN110277296A ,2019-09-24

[9]

等离子处理装置以及等离子处理方法 [P].

江崎隆 ;

广田侯然 ;

池永和幸 ;

角屋诚浩 .

日本专利 :CN119895545A ,2025-04-25

[10]

等离子处理装置以及等离子处理方法 [P].

德永贵之 ;

上村光弘 ;

森本未知数 .

中国专利 :CN114467169A ,2022-05-10

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