铜化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580024971.2

申请日：

2015-04-08

公开(公告)号：

CN106458849B

公开(公告)日：

2017-02-22

发明(设计)人：

吉野智晴远津正挥樱井淳西田章浩冈部诚

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C07C21508

IPC分类号：

C23C1618 H01L2128 H01L21285 C07F108

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

吴宗颐

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101708778093 IPC(主分类):C07C 215/08 专利申请号:2015800249712 申请日:20150408
2018-02-13	授权	授权
2017-02-22	公开	公开

共 50 条

[1]

金属化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

樱井淳 ;

山田直树 .

中国专利 :CN1898192A ,2007-01-17

[2]

铝化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

吉野智晴 ;

樱井淳 ;

白鸟翼 ;

畑濑雅子 ;

内生蔵广幸 ;

西田章浩 .

中国专利 :CN104755485B ,2015-07-01

[3]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜制造方法 [P].

和田仙二 ;

阿部彻司 ;

樱井淳 ;

东野贵志 ;

藤本龙作 ;

清水雅子 .

中国专利 :CN101143873A ,2008-03-19

[4]

钌化合物、薄膜形成用原料以及薄膜的制造方法 [P].

吉野智晴 ;

远津正挥 ;

冈田奈奈 ;

畑濑雅子 .

中国专利 :CN111344294A ,2020-06-26

[5]

金属化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

芳仲笃也 ;

樱井淳 .

中国专利 :CN101052615B ,2007-10-10

[6]

化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法 [P].

斋藤昭夫 ;

青木雄太郎 .

中国专利 :CN114787168A ,2022-07-22

[7]

化合物、薄膜形成用原料、薄膜的制造方法和脒化合物 [P].

吉野智晴 ;

冈田奈奈 ;

西田章浩 ;

山下敦史 .

中国专利 :CN109923119B ,2019-06-21

[8]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

冈田奈奈 ;

畑濑雅子 ;

西田章浩 ;

樱井淳 .

中国专利 :CN111032663A ,2020-04-17

[9]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

樱井淳 ;

畑濑雅子 ;

冈田奈奈 ;

西田章浩 .

中国专利 :CN110709381A ,2020-01-17

[10]

锌化合物、薄膜形成用原料、薄膜及其制造方法 [P].

福岛亮太 ;

武田圭介 ;

远津正挥 .

中国专利 :CN115362157A ,2022-11-18

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