金属化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580037753.9

申请日：

2005-10-26

公开(公告)号：

CN101052615B

公开(公告)日：

2007-10-10

发明(设计)人：

芳仲笃也樱井淳

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C07C21508

IPC分类号：

C23C1640 H01L21285 H01L21316 C07F900

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

陈建全

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-12-05	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-07-14	授权	授权
2007-10-10	公开	公开

共 50 条

[1]

金属化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

樱井淳 ;

山田直树 .

中国专利 :CN1898192A ,2007-01-17

[2]

烷氧基金属化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法 [P].

佐藤宏树 ;

樱井淳 .

中国专利 :CN1914150A ,2007-02-14

[3]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

冈田奈奈 ;

畑濑雅子 ;

西田章浩 ;

樱井淳 .

中国专利 :CN111032663A ,2020-04-17

[4]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料、薄膜的制造方法和醇化合物 [P].

樱井淳 ;

畑濑雅子 ;

山田直树 ;

白鸟翼 ;

斋藤昭夫 ;

吉野智晴 .

中国专利 :CN104470892B ,2015-03-25

[5]

锌化合物、薄膜形成用原料、薄膜及其制造方法 [P].

福岛亮太 ;

武田圭介 ;

远津正挥 .

中国专利 :CN115362157A ,2022-11-18

[6]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜制造方法 [P].

和田仙二 ;

阿部彻司 ;

樱井淳 ;

东野贵志 ;

藤本龙作 ;

清水雅子 .

中国专利 :CN101143873A ,2008-03-19

[7]

新型的化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法 [P].

吉野智晴 ;

远津正挥 ;

西田章浩 ;

杉浦奈奈 .

中国专利 :CN107531734A ,2018-01-02

[8]

烷氧基化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法 [P].

山田直树 ;

樱井淳 .

中国专利 :CN101065349A ,2007-10-31

[9]

形成金属化合物薄膜的方法 [P].

何伟业 ;

胡宇慧 .

中国专利 :CN102383098A ,2012-03-21

[10]

钌化合物、薄膜形成用原料以及薄膜的制造方法 [P].

吉野智晴 ;

远津正挥 ;

冈田奈奈 ;

畑濑雅子 .

中国专利 :CN111344294A ,2020-06-26

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