金属醇盐化合物、薄膜形成用原料、薄膜的制造方法和醇化合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380035400.X

申请日：

2013-10-21

公开(公告)号：

CN104470892B

公开(公告)日：

2015-03-25

发明(设计)人：

樱井淳畑濑雅子山田直树白鸟翼斋藤昭夫吉野智晴

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C07C25108

IPC分类号：

C23C1616 C23C1640 H01L2128 H01L21285 C07F108 C07F1504 C07F1506

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

陈建全

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101631743305 IPC(主分类):C07C 251/08 专利申请号:201380035400X 申请日:20131021
2017-05-17	授权	授权
2015-03-25	公开	公开

共 50 条

[1]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

冈田奈奈 ;

畑濑雅子 ;

西田章浩 ;

樱井淳 .

中国专利 :CN111032663A ,2020-04-17

[2]

醇盐化合物、薄膜形成用原料、薄膜的形成方法和醇化合物 [P].

樱井淳 ;

畑濑雅子 ;

吉野智晴 ;

远津正挥 .

中国专利 :CN106660946B ,2017-05-10

[3]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜制造方法 [P].

和田仙二 ;

阿部彻司 ;

樱井淳 ;

东野贵志 ;

藤本龙作 ;

清水雅子 .

中国专利 :CN101143873A ,2008-03-19

[4]

醇盐化合物以及薄膜形成用原料 [P].

和田仙二 ;

斋藤昭夫 ;

吉野智晴 .

中国专利 :CN103502202B ,2014-01-08

[5]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

樱井淳 ;

畑濑雅子 ;

冈田奈奈 ;

西田章浩 .

中国专利 :CN110709381A ,2020-01-17

[6]

新型的化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法 [P].

吉野智晴 ;

远津正挥 ;

西田章浩 ;

杉浦奈奈 .

中国专利 :CN107531734A ,2018-01-02

[7]

原子层沉积法用薄膜形成原料、薄膜的制造方法以及醇盐化合物 [P].

樱井淳 ;

畑濑雅子 ;

吉野智晴 ;

西田章浩 ;

山下敦史 .

中国专利 :CN113195784A ,2021-07-30

[8]

金属化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

芳仲笃也 ;

樱井淳 .

中国专利 :CN101052615B ,2007-10-10

[9]

脒基化合物、其二聚体化合物、薄膜形成用原料以及薄膜的制造方法 [P].

吉野智晴 ;

大江佳毅 ;

武田圭介 ;

福岛亮太 ;

满井千瑛 ;

山下敦史 .

中国专利 :CN115380038A ,2022-11-22

[10]

锌化合物、薄膜形成用原料、薄膜及其制造方法 [P].

福岛亮太 ;

武田圭介 ;

远津正挥 .

中国专利 :CN115362157A ,2022-11-18

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