醇盐化合物、薄膜形成用原料、薄膜的形成方法和醇化合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580040201.7

申请日：

2015-07-16

公开(公告)号：

CN106660946B

公开(公告)日：

2017-05-10

发明(设计)人：

樱井淳畑濑雅子吉野智晴远津正挥

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

C07C25108

IPC分类号：

C23C1618 H01L21285 C07F108 C07F1506

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

吴宗颐

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101744374198 IPC(主分类):C07C 251/08 专利申请号:2015800402017 申请日:20150716
2019-07-23	授权	授权
2017-05-10	公开	公开

共 50 条

[1]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料、薄膜的制造方法和醇化合物 [P].

樱井淳 ;

畑濑雅子 ;

山田直树 ;

白鸟翼 ;

斋藤昭夫 ;

吉野智晴 .

中国专利 :CN104470892B ,2015-03-25

[2]

醇盐化合物以及薄膜形成用原料 [P].

和田仙二 ;

斋藤昭夫 ;

吉野智晴 .

中国专利 :CN103502202B ,2014-01-08

[3]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜制造方法 [P].

和田仙二 ;

阿部彻司 ;

樱井淳 ;

东野贵志 ;

藤本龙作 ;

清水雅子 .

中国专利 :CN101143873A ,2008-03-19

[4]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

冈田奈奈 ;

畑濑雅子 ;

西田章浩 ;

樱井淳 .

中国专利 :CN111032663A ,2020-04-17

[5]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

樱井淳 ;

畑濑雅子 ;

冈田奈奈 ;

西田章浩 .

中国专利 :CN110709381A ,2020-01-17

[6]

化合物、薄膜形成用原料、薄膜的制造方法和脒化合物 [P].

吉野智晴 ;

冈田奈奈 ;

西田章浩 ;

山下敦史 .

中国专利 :CN109923119B ,2019-06-21

[7]

化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法 [P].

斋藤昭夫 ;

青木雄太郎 .

中国专利 :CN114787168A ,2022-07-22

[8]

原子层沉积法用薄膜形成原料、薄膜的制造方法以及醇盐化合物 [P].

樱井淳 ;

畑濑雅子 ;

吉野智晴 ;

西田章浩 ;

山下敦史 .

中国专利 :CN113195784A ,2021-07-30

[9]

钨化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法 [P].

斋藤昭夫 ;

白鸟翼 ;

青木雄太郎 .

中国专利 :CN110831950B ,2020-02-21

[10]

化合物薄膜形成装置 [P].

伊藤弘基 .

中国专利 :CN87107161A ,1988-05-11

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