醇盐化合物以及薄膜形成用原料

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280022056.6

申请日：

2012-05-15

公开(公告)号：

CN103502202B

公开(公告)日：

2014-01-08

发明(设计)人：

和田仙二斋藤昭夫吉野智晴

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C07C21508

IPC分类号：

C23C1618 H01L21285 C07F1504

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

张楠;陈建全

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-01-08	公开	公开
2015-04-22	授权	授权
2014-02-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101570127408 IPC(主分类):C07C 215/08 专利申请号:2012800220566 申请日:20120515

共 50 条

[1]

原子层沉积法用薄膜形成原料、薄膜的制造方法以及醇盐化合物 [P].

樱井淳 ;

畑濑雅子 ;

吉野智晴 ;

西田章浩 ;

山下敦史 .

中国专利 :CN113195784A ,2021-07-30

[2]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料、薄膜的制造方法和醇化合物 [P].

樱井淳 ;

畑濑雅子 ;

山田直树 ;

白鸟翼 ;

斋藤昭夫 ;

吉野智晴 .

中国专利 :CN104470892B ,2015-03-25

[3]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

冈田奈奈 ;

畑濑雅子 ;

西田章浩 ;

樱井淳 .

中国专利 :CN111032663A ,2020-04-17

[4]

醇盐化合物、薄膜形成用原料、薄膜的形成方法和醇化合物 [P].

樱井淳 ;

畑濑雅子 ;

吉野智晴 ;

远津正挥 .

中国专利 :CN106660946B ,2017-05-10

[5]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜制造方法 [P].

和田仙二 ;

阿部彻司 ;

樱井淳 ;

东野贵志 ;

藤本龙作 ;

清水雅子 .

中国专利 :CN101143873A ,2008-03-19

[6]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

樱井淳 ;

畑濑雅子 ;

冈田奈奈 ;

西田章浩 .

中国专利 :CN110709381A ,2020-01-17

[7]

薄膜形成用原料、薄膜的制造方法以及新型化合物 [P].

西田章浩 ;

冈田奈奈 ;

大江佳毅 .

日本专利 :CN110799665B ,2025-10-24

[8]

钌化合物、薄膜形成用原料以及薄膜的制造方法 [P].

吉野智晴 ;

远津正挥 ;

冈田奈奈 ;

畑濑雅子 .

中国专利 :CN111344294A ,2020-06-26

[9]

薄膜形成用原料、薄膜的制造方法以及新型化合物 [P].

西田章浩 ;

冈田奈奈 ;

大江佳毅 .

中国专利 :CN110799665A ,2020-02-14

[10]

锌化合物、薄膜形成用原料、薄膜及其制造方法 [P].

福岛亮太 ;

武田圭介 ;

远津正挥 .

中国专利 :CN115362157A ,2022-11-18

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