烷氧基金属化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580004018.8

申请日：

2005-02-14

公开(公告)号：

CN1914150A

公开(公告)日：

2007-02-14

发明(设计)人：

佐藤宏树樱井淳

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C07C21508

IPC分类号：

C23C1640 H01L21316 C07F700 C07F704

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

陈建全

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-02-14	公开	公开
2009-05-20	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2007-04-11	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

烷氧基化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法 [P].

山田直树 ;

樱井淳 .

中国专利 :CN101065349A ,2007-10-31

[2]

金属化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

樱井淳 ;

山田直树 .

中国专利 :CN1898192A ,2007-01-17

[3]

金属化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

芳仲笃也 ;

樱井淳 .

中国专利 :CN101052615B ,2007-10-10

[4]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料、薄膜的制造方法和醇化合物 [P].

樱井淳 ;

畑濑雅子 ;

山田直树 ;

白鸟翼 ;

斋藤昭夫 ;

吉野智晴 .

中国专利 :CN104470892B ,2015-03-25

[5]

新型的化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法 [P].

吉野智晴 ;

远津正挥 ;

西田章浩 ;

杉浦奈奈 .

中国专利 :CN107531734A ,2018-01-02

[6]

烷氧基金属化合物的制取方法 [P].

吴治 ;

韦统师 .

中国专利 :CN1052339A ,1991-06-19

[7]

锌化合物、薄膜形成用原料、薄膜及其制造方法 [P].

福岛亮太 ;

武田圭介 ;

远津正挥 .

中国专利 :CN115362157A ,2022-11-18

[8]

化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法 [P].

斋藤昭夫 ;

青木雄太郎 .

中国专利 :CN114787168A ,2022-07-22

[9]

金属醇盐化合物、薄膜形成用原料及薄膜的制造方法 [P].

冈田奈奈 ;

畑濑雅子 ;

西田章浩 ;

樱井淳 .

中国专利 :CN111032663A ,2020-04-17

[10]

钨化合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法 [P].

斋藤昭夫 ;

白鸟翼 ;

青木雄太郎 .

中国专利 :CN110831950B ,2020-02-21

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