信息处理装置、检测方法、基板处理系统及物品的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110382069.5

申请日：

2021-04-09

公开(公告)号：

CN113539885A

公开(公告)日：

2021-10-22

发明(设计)人：

增田充宏鲛岛裕纪

申请人：

申请人地址：

日本东京都大田区下丸子3-30-2

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

G06N304 G06N308

代理机构：

北京怡丰知识产权代理有限公司 11293

代理人：

迟军;高华丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20210409
2021-10-22	公开	公开

共 50 条

[1]

信息处理装置、检测方法、基板处理系统及物品的制造方法 [P].

增田充宏 ;

鲛岛裕纪 .

日本专利 :CN113539885B ,2025-06-27

[2]

信息处理方法、信息处理装置、以及基板处理系统 [P].

齐藤友贵哉 ;

片冈勇树 .

日本专利 :CN117882170A ,2024-04-12

[3]

信息处理装置、信息处理方法以及物品的制造方法 [P].

根谷尚稔 ;

铃木彻 ;

山本将志 ;

米田慎吾 ;

黑泽良昭 ;

日置真则 .

中国专利 :CN114859663A ,2022-08-05

[4]

信息处理装置、信息处理方法、存储介质、曝光方法、基板处理装置以及物品的制造方法 [P].

朝日亮吏 ;

栢森翔太 .

日本专利 :CN119225122A ,2024-12-31

[5]

信息处理装置、显示控制方法、存储介质、基板处理系统和物品制造方法 [P].

北健太 .

中国专利 :CN113568277A ,2021-10-29

[6]

装置、装置的控制方法、信息处理装置、信息处理方法、以及物品制造方法 [P].

茂泉纯 .

日本专利 :CN117891137A ,2024-04-16

[7]

信息处理方法、信息处理装置、制造系统和物品制造方法 [P].

平冈义章 ;

村上信次 ;

佐久间广太 .

中国专利 :CN113496340A ,2021-10-12

[8]

信息处理装置、信息处理系统、信息处理方法、基板处理装置 [P].

舞鴫惠治 ;

杉浦哲郎 ;

臼井克明 ;

畠山雅规 ;

本间知佳子 ;

大须贺透 ;

岩崎弘一 ;

林介元 .

中国专利 :CN110050125B ,2019-07-23

[9]

信息处理装置、信息处理方法、物品制造系统和方法 [P].

藤原广镜 .

中国专利 :CN114859665A ,2022-08-05

[10]

信息处理装置、信息处理方法、物品制造系统和方法 [P].

川内义洋 .

中国专利 :CN114935878A ,2022-08-23

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