Cu-Ga合金粉末的制造方法和Cu-Ga合金粉末、以及Cu-Ga合金溅射靶的制造方法和Cu-Ga合金溅射靶

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201180018036.7
申请日
2011-04-07
公开(公告)号
CN102844134A
公开(公告)日
2012-12-26
发明(设计)人
森本敏夫 高桥辰也 安东勋雄 小向哲史 高木正德 佐藤惠理子 南浩尚
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
B22F100
IPC分类号
B22F102 B22F314 C22C900 C23C1434
代理机构
隆天国际知识产权代理有限公司 72003
代理人
崔香丹;洪燕
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
Cu-Ga合金溅射靶的制造方法以及Cu-Ga合金溅射靶 [P]. 
横林贞之 .
中国专利 :CN102451910A ,2012-05-16
[2]
Cu-Ga合金以及Cu-Ga合金溅射靶 [P]. 
失野智泰 .
中国专利 :CN102959107A ,2013-03-06
[3]
Cu-Ga合金溅射靶以及Cu-Ga合金溅射靶的制造方法 [P]. 
吉田勇气 ;
植田稔晃 ;
森晓 .
中国专利 :CN107429384B ,2017-12-01
[4]
Cu-Ga合金溅射靶的制造方法及Cu-Ga合金溅射靶 [P]. 
吉田勇气 ;
植田稔晃 ;
森晓 .
中国专利 :CN108603280B ,2018-09-28
[5]
Cu-Ga合金溅射靶及Cu-Ga合金溅射靶的制造方法 [P]. 
森晓 ;
梅本启太 ;
桥本周 ;
武田拓真 .
中国专利 :CN110337508A ,2019-10-15
[6]
Cu-Ga合金溅射靶及Cu-Ga合金溅射靶的制造方法 [P]. 
森晓 ;
武田拓真 .
中国专利 :CN111492091A ,2020-08-04
[7]
Cu-Ga合金、溅射靶、Cu-Ga合金的制造方法以及溅射靶的制造方法 [P]. 
平本雄一 ;
外木达也 .
中国专利 :CN101906552A ,2010-12-08
[8]
Cu-Ga合金溅射靶 [P]. 
桥本周 ;
梅本启太 ;
白井孝典 ;
武田拓真 ;
浦山恒太郎 .
中国专利 :CN111771012A ,2020-10-13
[9]
Cu-Ga合金溅射靶 [P]. 
卫藤雅俊 .
中国专利 :CN105274481A ,2016-01-27
[10]
Cu-Ga合金溅射靶及其制造方法 [P]. 
吉田勇气 ;
石山宏一 ;
森晓 .
中国专利 :CN105705674B ,2016-06-22