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金属栅极结构及其制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201611076645.9
申请日：
2016-11-30
公开(公告)号：
CN106340452A
公开(公告)日：
2017-01-18
发明(设计)人：
鲍宇
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号
IPC主分类号：
H01L2128
IPC分类号：
H01L29423
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
智云
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-01-18 | 公开 | 公开 |
| 2017-02-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101703560934 IPC(主分类):H01L 21/28 专利申请号:2016110766459 申请日:20161130 |
| 2020-07-10 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/28 申请公布日:20170118 |