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金属栅极的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710884989.0
申请日：
2017-09-26
公开(公告)号：
CN107833861A
公开(公告)日：
2018-03-23
发明(设计)人：
鲍宇
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号
IPC主分类号：
H01L218238
IPC分类号：
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
智云
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-11 | 授权 | 授权 |
| 2018-04-17 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/8238 申请日:20170926 |
| 2018-03-23 | 公开 | 公开 |