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金属栅极的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201610766204.5
申请日：
2016-08-30
公开(公告)号：
CN106252283A
公开(公告)日：
2016-12-21
发明(设计)人：
鲍宇
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号
IPC主分类号：
H01L218238
IPC分类号：
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
智云
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2017-01-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101697759392 IPC(主分类):H01L 21/8238 专利申请号:2016107662045 申请日:20160830 |
| 2019-05-03 | 授权 | 授权 |
| 2016-12-21 | 公开 | 公开 |