探针卡、使用该探针卡的检查装置及检查方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710475946.7

申请日：

2017-06-21

公开(公告)号：

CN107526018B9

公开(公告)日：

2017-12-29

发明(设计)人：

齐藤祐贵深见美行清藤英博

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01R3128

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

杨宏军;李文屿

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-13	授权	授权
2017-12-29	公开	公开
2018-01-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/28 申请日:20170621
2021-09-03	发明专利更正	发明专利更正号牌文件类型代码=1608 号牌文件序号=10182753736460 卷=37 号=16-01 页码=全文 IPC(主分类)=G01R0031280000 更正项目=权利要求书误=2020年5月26日提交的权利要求书正=2020年9月15日提交的权利要求书

共 50 条

[1]

检查装置、探针卡及检查方法 [P].

小松茂和 ;

篠崎大 ;

坂本胜昭 .

中国专利 :CN101349736B ,2009-01-21

[2]

探针卡检查晶片和探针卡检查系统 [P].

池俊洙 ;

金檀义 ;

南汉直 ;

郑晋宇 .

中国专利 :CN110907788A ,2020-03-24

[3]

探针卡检查晶片和探针卡检查系统 [P].

池俊洙 ;

金檀义 ;

南汉直 ;

郑晋宇 .

韩国专利 :CN110907788B ,2024-09-10

[4]

探针、探针卡和接触检查装置 [P].

久我智昭 .

中国专利 :CN107870255A ,2018-04-03

[5]

探针卡和检查装置 [P].

中田义朗 ;

菊地义德 ;

藤田洋征 .

中国专利 :CN103852607A ,2014-06-11

[6]

探针卡和检查方法 [P].

菊田诚 ;

安藤秀宪 .

中国专利 :CN109564245A ,2019-04-02

[7]

探针卡的定位机构及检查装置 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN102654522A ,2012-09-05

[8]

探针卡的夹紧机构及检查装置 [P].

野口政幸 .

中国专利 :CN102022403A ,2011-04-20

[9]

探针卡和接触检查装置 [P].

吉冈哲也 ;

河野贵志 ;

牧瀬茂喜 ;

那须美佳 .

中国专利 :CN108351371B ,2018-07-31

[10]

包括检测探针的探针卡制造方法和探针卡、探针卡检查系统 [P].

李瀚茂 .

中国专利 :CN101762723A ,2010-06-30

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