一种低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410222253.3

申请日：

2014-05-23

公开(公告)号：

CN105097544A

公开(公告)日：

2015-11-25

发明(设计)人：

严晓龙吴建宏彭思君钟尚骅

申请人：

申请人地址：

201500 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司 72003

代理人：

刘永军;洪燕

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-25	公开	公开
2018-06-01	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/336 申请公布日:20151125
2015-12-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101638513448 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2014102222533 申请日:20140523

共 50 条

[1]

低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法 [P].

林辉巨 .

中国专利 :CN1567549A ,2005-01-19

[2]

低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法、低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

葛泳 ;

邱勇 ;

黄秀颀 ;

朱涛 ;

刘玉成 .

中国专利 :CN103050410A ,2013-04-17

[3]

低温多晶硅薄膜晶体管制造方法 [P].

颜圣佑 ;

黄家琦 ;

李原欣 ;

王承贤 .

中国专利 :CN104576387B ,2015-04-29

[4]

低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法及低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

周星宇 ;

张晓星 .

中国专利 :CN105097550A ,2015-11-25

[5]

低温多晶硅薄膜的制造方法及低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

陈韵升 .

中国专利 :CN1259693C ,2004-10-27

[6]

低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法 [P].

高孝裕 ;

李喜峰 ;

李俊峰 .

中国专利 :CN101414564A ,2009-04-22

[7]

低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

郭政彰 .

中国专利 :CN2717021Y ,2005-08-10

[8]

低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

郭政彰 .

中国专利 :CN2717022Y ,2005-08-10

[9]

低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法 [P].

曹义昌 .

中国专利 :CN1581450A ,2005-02-16

[10]

低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法 [P].

葛泳 ;

邱勇 ;

黄秀颀 ;

朱涛 ;

刘玉成 .

中国专利 :CN102437196B ,2012-05-02

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