低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03142448.1

申请日：

2003-06-12

公开(公告)号：

CN1567549A

公开(公告)日：

2005-01-19

发明(设计)人：

林辉巨

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹科学工业园区苗栗县

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L2184

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

陶凤波;侯宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2005-01-19	公开	公开
2017-07-28	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101737375706 IPC(主分类):H01L 21/336 专利号:ZL031424481 申请日:20030612 授权公告日:20061115 终止日期:20160612
2005-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-11-15	授权	授权

共 50 条

[1]

低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法、低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

葛泳 ;

邱勇 ;

黄秀颀 ;

朱涛 ;

刘玉成 .

中国专利 :CN103050410A ,2013-04-17

[2]

一种低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法 [P].

严晓龙 ;

吴建宏 ;

彭思君 ;

钟尚骅 .

中国专利 :CN105097544A ,2015-11-25

[3]

低温多晶硅薄膜晶体管制造方法 [P].

颜圣佑 ;

黄家琦 ;

李原欣 ;

王承贤 .

中国专利 :CN104576387B ,2015-04-29

[4]

低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法及低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

周星宇 ;

张晓星 .

中国专利 :CN105097550A ,2015-11-25

[5]

低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法 [P].

林辉巨 .

中国专利 :CN1567550A ,2005-01-19

[6]

生产低温多晶硅薄膜晶体管的方法 [P].

徐正勋 ;

闫晓剑 .

中国专利 :CN102082098A ,2011-06-01

[7]

低温多晶硅薄膜的制造方法及低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

陈韵升 .

中国专利 :CN1259693C ,2004-10-27

[8]

低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法 [P].

高孝裕 ;

李喜峰 ;

李俊峰 .

中国专利 :CN101414564A ,2009-04-22

[9]

低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

郭政彰 .

中国专利 :CN2717021Y ,2005-08-10

[10]

低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

郭政彰 .

中国专利 :CN2717022Y ,2005-08-10

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