光刻设备和器件制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201380057806.8

申请日：

2013-10-08

公开(公告)号：

CN104769502A

公开(公告)日：

2015-07-08

发明(设计)人：

埃多·赫尔斯伯斯

申请人：

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王波波

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-09	授权	授权
2015-08-05	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101619256151 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2013800578068 申请日:20131008
2015-07-08	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻设备和器件制造方法 [P].

埃瑞克·派卓斯·伯曼 ;

汤姆斯·约瑟夫斯·玛丽亚·卡斯腾米勒 ;

约翰尼斯·威尔荷尔姆斯·玛丽亚·科尼利斯·蒂尤乌森 ;

贝尔雷切·莫爱斯特 ;

马克·安东尼斯·玛丽亚·哈斯特 .

中国专利 :CN101180582B ,2008-05-14

[2]

光刻设备和器件制造方法 [P].

H·巴特勒 ;

M·J·沃奥尔戴尔冬克 ;

M·W·J·E·威吉克曼斯 .

中国专利 :CN110268332A ,2019-09-20

[3]

光刻设备和器件制造方法 [P].

J·J·奥坦斯 ;

M·E·J·伯恩曼 ;

T·J·M·卡斯坦米勒 ;

A·B·祖尼克 .

中国专利 :CN1971430A ,2007-05-30

[4]

光刻设备和器件制造方法 [P].

W·P·范德兰特 .

中国专利 :CN102193329A ,2011-09-21

[5]

光刻设备和器件制造方法 [P].

A·J·登鲍埃夫 .

中国专利 :CN102193327B ,2011-09-21

[6]

光刻设备和器件制造方法 [P].

陈继恒 ;

S·G·翰森 .

中国专利 :CN1975582A ,2007-06-06

[7]

光刻设备和器件制造方法 [P].

A·H·J·A·马登斯 ;

P·J·克拉莫尔 .

中国专利 :CN101968608B ,2011-02-09

[8]

光刻设备和器件制造方法 [P].

B·范霍夫 ;

J·科塔尔 .

中国专利 :CN108369390B ,2018-08-03

[9]

光刻设备和器件制造方法 [P].

约翰内斯·昂伍李 ;

彼得·德亚格尔 ;

埃尔温·范茨韦特 .

中国专利 :CN102770811A ,2012-11-07

[10]

光刻设备和器件制造方法 [P].

P·A·J·廷尼曼斯 .

中国专利 :CN108027571A ,2018-05-11

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