光刻设备和器件制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610163176.4

申请日：

2006-11-29

公开(公告)号：

CN1975582A

公开(公告)日：

2007-06-06

发明(设计)人：

陈继恒 S·G·翰森

申请人：

申请人地址：

荷兰费尔德霍芬

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

王小衡;梁永

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-06-06	公开	公开
2009-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-11-14	专利权的视为放弃	专利权的视为放弃号牌文件类型代码:1606 号牌文件序号:101346921529 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2006101631764 放弃生效日:20070606

共 50 条

[1]

光刻设备和器件制造方法 [P].

埃多·赫尔斯伯斯 .

中国专利 :CN104769502A ,2015-07-08

[2]

光刻设备和器件制造方法 [P].

约瑟夫·玛丽亚·芬德斯 .

中国专利 :CN101598902B ,2009-12-09

[3]

光刻设备和器件制造方法 [P].

J·C·H·穆肯斯 ;

W·P·德博伊 ;

C·A·科勒 .

中国专利 :CN1760763A ,2006-04-19

[4]

光刻设备和器件制造方法 [P].

R·库尔特 .

中国专利 :CN1470944A ,2004-01-28

[5]

光刻设备和器件制造方法 [P].

R·T·P·考姆彭 ;

M·M·P·A·沃梅尤恩 ;

A·B·杰尤恩克 ;

E·R·鲁普斯卓 ;

J·J·奥腾斯 ;

P·斯密特斯 ;

H·J·M·凡阿毕伦 ;

A·A·梅尤恩迪杰克斯 ;

M·霍本 ;

R·W·A·H·理纳尔斯 .

中国专利 :CN101713929A ,2010-05-26

[6]

光刻设备和器件制造方法 [P].

埃瑞克·派卓斯·伯曼 ;

汤姆斯·约瑟夫斯·玛丽亚·卡斯腾米勒 ;

约翰尼斯·威尔荷尔姆斯·玛丽亚·科尼利斯·蒂尤乌森 ;

贝尔雷切·莫爱斯特 ;

马克·安东尼斯·玛丽亚·哈斯特 .

中国专利 :CN101180582B ,2008-05-14

[7]

光刻设备和器件制造方法 [P].

A·J·布里克 ;

J·J·M·巴塞曼斯 ;

M·M·T·M·迪伊里奇斯 ;

C·瓦格纳 ;

L·赖齐科夫 ;

S·Y·斯米诺夫 ;

K·Z·特鲁斯特 .

中国专利 :CN101598904B ,2009-12-09

[8]

光刻设备和器件制造方法 [P].

安德利·B·朱尼克 ;

马塞尔·K·M·博根 ;

德克-让·比沃特 ;

托马斯·J·M·卡斯滕米勒 .

中国专利 :CN101105640B ,2008-01-16

[9]

光刻设备和器件制造方法 [P].

埃尔温·范茨韦特 ;

彼得·德亚格尔 ;

约翰内斯·昂伍李 ;

汉瑞克·德曼 .

中国专利 :CN103238113A ,2013-08-07

[10]

光刻设备和器件制造方法 [P].

R·T·P·康彭 ;

O·沃兹尼 ;

M·侯本 ;

M·埃尔鲍柴比 ;

F·J·M·博克霍尔特 ;

R·瓦克 .

中国专利 :CN101082779A ,2007-12-05

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