一种干法刻蚀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911367606.8

申请日：

2019-12-26

公开(公告)号：

CN111029254A

公开(公告)日：

2020-04-17

发明(设计)人：

李树宏李三三刘一川汤伟杰

申请人：

申请人地址：

215143 江苏省苏州市苏州相城经济技术开发区漕湖产业园方桥路568号

IPC主分类号：

H01L213065

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

孟金喆

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/3065 申请日:20191226
2020-04-17	公开	公开

共 50 条

[1]

干法刻蚀机台及干法刻蚀方法 [P].

李国强 ;

衣新燕 .

中国专利 :CN117096067B ,2024-03-01

[2]

干法刻蚀方法 [P].

崔红星 ;

代大全 ;

吕睿 ;

李大勇 .

中国专利 :CN101211751A ,2008-07-02

[3]

一种干法刻蚀方法 [P].

黄海 ;

洪齐元 .

中国专利 :CN103871847A ,2014-06-18

[4]

一种干法刻蚀方法 [P].

汪之涵 ;

和巍巍 ;

温正欣 .

中国专利 :CN118507343A ,2024-08-16

[5]

干法刻蚀机台及干法刻蚀方法 [P].

高鹏飞 ;

丁玎 .

中国专利 :CN109755159B ,2019-05-14

[6]

干法刻蚀方法 [P].

丁向前 ;

刘耀 ;

陈曦 ;

李梁梁 ;

白金超 ;

刘晓伟 .

中国专利 :CN103996621A ,2014-08-20

[7]

干法刻蚀工艺方法 [P].

赵博超 .

中国专利 :CN112103167A ,2020-12-18

[8]

干法刻蚀方法 [P].

汪新学 ;

王伟军 .

中国专利 :CN102254812A ,2011-11-23

[9]

干法刻蚀方法 [P].

吴智勇 ;

邱华军 .

中国专利 :CN102693911A ,2012-09-26

[10]

干法刻蚀方法 [P].

吴贤丰 ;

延宇豪 ;

邱山峰 ;

孙磊 .

中国专利 :CN119038485A ,2024-11-29

← 1 2 3 4 5 →