一种基于芯片加工的晶圆喷胶机构

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专利类型
实用新型
申请号
CN201922274251.X
申请日
2019-12-18
公开(公告)号
CN210778510U
公开(公告)日
2020-06-16
发明(设计)人
王小波 王波 田光明
申请人
申请人地址
214000 江苏省无锡市新吴区震泽路18号无锡软件园巨蟹座A栋1-102室
IPC主分类号
H01L2167
IPC分类号
代理机构
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共 50 条
[1]
一种基于芯片加工的晶圆喷胶机构 [P]. 
刘加美 ;
曹芳 ;
刘俊呈 .
中国专利 :CN214160281U ,2021-09-10
[2]
基于芯片加工的晶圆喷胶机构 [P]. 
董路兵 .
中国专利 :CN209560265U ,2019-10-29
[3]
用于芯片加工的晶圆喷胶机构 [P]. 
彭长贵 .
中国专利 :CN211865657U ,2020-11-06
[4]
一种基于芯片加工的晶圆喷胶机构 [P]. 
吴雨欣 .
中国专利 :CN115445855A ,2022-12-09
[5]
一种基于芯片加工的晶圆喷胶机构 [P]. 
巩铁凡 .
中国专利 :CN112403812A ,2021-02-26
[6]
一种芯片加工用晶圆甩胶装置 [P]. 
王赞玉 ;
王主将 ;
柏文玲 ;
贾浩 .
中国专利 :CN223698346U ,2025-12-23
[7]
一种芯片加工晶圆夹持装置 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN212874471U ,2021-04-02
[8]
一种喷胶机构 [P]. 
周松 .
中国专利 :CN218282202U ,2023-01-13
[9]
一种用于晶圆芯片加工的擦拭装置 [P]. 
乡秋梅 .
中国专利 :CN215815806U ,2022-02-11
[10]
一种用于晶圆芯片加工的擦拭装置 [P]. 
冯羽 ;
吴昊 .
中国专利 :CN222956996U ,2025-06-10