一种适用于不同大小硅片的硅片承载座

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202122397917.8

申请日：

2021-09-30

公开(公告)号：

CN215933543U

公开(公告)日：

2022-03-01

发明(设计)人：

卢娇

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区天山路6-2504

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

B08B1300

代理机构：

无锡市才标专利代理事务所(普通合伙) 32323

代理人：

吕志垚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片承载盘及硅片承载装置 [P].

唐青刚 ;

李文红 ;

杨宗明 ;

高晗 .

中国专利 :CN209963035U ,2020-01-17

[2]

用于承载硅片的硅片花篮 [P].

孟祥熙 ;

潘维 .

中国专利 :CN209859931U ,2019-12-27

[3]

一种适用于承载大尺寸硅片的石墨舟 [P].

沈永臻 ;

林纲正 ;

陈刚 .

中国专利 :CN211645378U ,2020-10-09

[4]

一种适用于承载大尺寸硅片的石英舟 [P].

吴慧敏 ;

林纲正 ;

陈刚 .

中国专利 :CN210837690U ,2020-06-23

[5]

一种适用于不同大小底盘的过渡承载盘 [P].

陈志宇 ;

乔鹏程 ;

赵宏静 .

中国专利 :CN207417583U ,2018-05-29

[6]

一种适用于不同尺寸的硅片的可变轴花篮 [P].

田浩 ;

蔡剑 ;

王艺澄 ;

冯琰 .

中国专利 :CN220873539U ,2024-04-30

[7]

一种适用于硅片的抛光装置 [P].

朱金浩 ;

蒋剑波 ;

朱世杰 ;

许布 ;

陈珏荣 .

中国专利 :CN206811723U ,2017-12-29

[8]

适用于圆形硅片的印刷模版 [P].

姚鹏 ;

钱腾达 ;

严锦春 .

中国专利 :CN202669151U ,2013-01-16

[9]

适用于硅片的取片装置 [P].

张建伟 ;

戴军 ;

罗银兵 ;

张学强 .

中国专利 :CN222775297U ,2025-04-18

[10]

一种用于硅片的承载台 [P].

余涛 ;

唐杰 .

中国专利 :CN209487469U ,2019-10-11

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