用于低温离子注入的方法和系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910162396.9

申请日：

2009-08-13

公开(公告)号：

CN101781797B

公开(公告)日：

2010-07-21

发明(设计)人：

张钧琳魏正泉吴欣贤

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹

IPC主分类号：

C30B3122

IPC分类号：

H01L21265 H01L21425

代理机构：

北京德恒律师事务所 11306

代理人：

马佑平;马铁良

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-09-05	授权	授权
2010-07-21	公开	公开
2010-09-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005819412 IPC(主分类):C30B 31/22 专利申请号:2009101623969 申请日:20090813

共 50 条

[1]

用于离子注入的方法和装置 [P].

杰伊·T·舒尤尔 ;

格雷戈里·R·杰比拉热 .

中国专利 :CN1575503A ,2005-02-02

[2]

离子注入方法及离子注入装置 [P].

二宫史郎 ;

冈本泰治 ;

弓山敏男 ;

越智昭浩 .

中国专利 :CN103227087B ,2013-07-31

[3]

低温离子注入方法 [P].

约翰·D·波拉克 ;

万志民 ;

艾瑞克·科拉 .

中国专利 :CN102212793A ,2011-10-12

[4]

低温离子注入方法 [P].

约翰·D·波拉克 ;

万志民 ;

艾瑞克·科拉 .

中国专利 :CN103834925B ,2014-06-04

[5]

控制离子注入工艺的方法和系统 [P].

郑逎汉 ;

陈其贤 .

中国专利 :CN101819926B ,2010-09-01

[6]

离子注入设备和离子注入方法 [P].

李军华 ;

罗承先 .

中国专利 :CN121075894A ,2025-12-05

[7]

离子注入的监控方法 [P].

陈雪峰 ;

柴利林 .

中国专利 :CN104347441B ,2015-02-11

[8]

用于单离子注入的方法和系统 [P].

大卫·诺曼·杰米尔森 ;

史蒂夫·卜劳 ;

安德鲁·史蒂夫·德祖瑞克 ;

罗伯特·格雷姆·克拉克 ;

杨长义 .

中国专利 :CN1295754C ,2004-11-03

[9]

一种监测低温离子注入的方法 [P].

邱裕明 ;

肖天金 .

中国专利 :CN103882401A ,2014-06-25

[10]

离子注入设备及离子注入方法 [P].

於成星 ;

刘小辉 ;

张和 ;

周静兰 ;

刘修忠 ;

沈保家 ;

李军辉 .

中国专利 :CN112820613B ,2021-05-18

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