一种集成电路缺陷的分析方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410163560.9

申请日：

2014-07-28

公开(公告)号：

CN104062305B

公开(公告)日：

2014-09-24

发明(设计)人：

倪棋梁陈宏璘龙吟

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

G01N21956

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

吴俊

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-03	授权	授权
2014-09-24	公开	公开
2014-10-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587745903 IPC(主分类):G01N 21/956 专利申请号:2014101635609 申请日:20140728

共 50 条

[1]

集成电路缺陷检测方法 [P].

王琬箐 .

中国专利 :CN115015289B ,2024-09-17

[2]

集成电路缺陷检测方法 [P].

王琬箐 .

中国专利 :CN115015289A ,2022-09-06

[3]

一种集成电路缺陷分析方法及系统 [P].

曾小帅 ;

汪艳 ;

许光明 ;

郭中祥 ;

曾团结 ;

位明明 .

中国专利 :CN121071600A ,2025-12-05

[4]

集成电路缺陷检测方法 [P].

周耀 ;

潘奎 ;

沈春 ;

黄宇峰 .

中国专利 :CN118130610A ,2024-06-04

[5]

用于半导体集成电路设备的缺陷分析方法和缺陷分析系统 [P].

李钟弦 .

中国专利 :CN101241770A ,2008-08-13

[6]

用于分析集成电路的方法、设备和集成电路 [P].

马特吉·戈森斯 ;

弗兰克·萨卡里亚斯 .

中国专利 :CN101213465A ,2008-07-02

[7]

集成电路的时序分析方法及集成电路的时序分析装置 [P].

陈英杰 ;

余美俪 ;

王鼎雄 ;

罗幼岚 ;

高淑怡 .

中国专利 :CN105808806B ,2016-07-27

[8]

一种集成电路的开封分析方法 [P].

龚羽 .

中国专利 :CN120820566A ,2025-10-21

[9]

一种集成电路缺陷点定位方法 [P].

郑海鹏 .

中国专利 :CN102610541A ,2012-07-25

[10]

一种集成电路工艺缺陷诊断分析方法、装置及介质 [P].

卓成 ;

吴汉明 ;

孙奇 ;

姜钰琪 .

中国专利 :CN119027411A ,2024-11-26

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