三氯硅烷的纯化系统以及硅晶体

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810156765.2

申请日：

2018-02-24

公开(公告)号：

CN108502888A

公开(公告)日：

2018-09-07

发明(设计)人：

岸亮太石田昌彦祢津茂义

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C01B33107

IPC分类号：

C01B3303 C30B2906

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司 11219

代理人：

满凤;金龙河

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-07	公开	公开
2020-03-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C01B 33/107 申请日:20180224

共 50 条

[1]

三氯硅烷的纯化 [P].

B·黑兹尔坦 ;

S·法伦布鲁克 ;

秦文军 .

中国专利 :CN104080735B ,2014-10-01

[2]

氯硅烷的纯化方法 [P].

宫尾秀一 ;

石田昌彦 ;

吉田敦 ;

祢津茂义 .

中国专利 :CN106488884A ,2017-03-08

[3]

三氯硅烷的纯化系统和多晶硅的制造方法 [P].

岸亮太 ;

石田昌彦 ;

祢津茂义 .

中国专利 :CN107867695A ,2018-04-03

[4]

氯硅烷类的纯化方法 [P].

长谷川正幸 ;

殿村洋一 ;

久保田透 ;

青山武 ;

田中秀二 .

中国专利 :CN103201218A ,2013-07-10

[5]

纯化三氯硅烷的制造方法 [P].

阪井纯也 ;

饭山昭二 .

日本专利 :CN119365416A ,2025-01-24

[6]

三氯硅烷制造装置以及三氯硅烷的制造方法 [P].

弘田贤次 ;

荻原克弥 .

中国专利 :CN111108065A ,2020-05-05

[7]

从氯硅烷中提纯三氯氢硅的系统 [P].

濮希杰 ;

李锋 ;

王利强 ;

张艳春 ;

张晓峰 .

中国专利 :CN203959832U ,2014-11-26

[8]

生产三氯硅烷的方法和用于生产三氯硅烷的硅 [P].

J-O.霍埃尔 ;

H.谢恩利 ;

H.M.龙格 ;

T.罗 ;

J.比约达尔 .

中国专利 :CN103080007A ,2013-05-01

[9]

生产三氯硅烷的方法和用于生产三氯硅烷的硅 [P].

J·－O·赫尔 ;

H·M·荣 ;

T·罗埃 ;

H·A·奥耶 .

中国专利 :CN100349797C ,2006-08-16

[10]

三氯硅烷制造装置以及三氯硅烷制造方法 [P].

生川满敏 .

中国专利 :CN101798086A ,2010-08-11

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