纯化三氯硅烷的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380046357.0

申请日：

2023-06-05

公开(公告)号：

CN119365416A

公开(公告)日：

2025-01-24

发明(设计)人：

阪井纯也饭山昭二

申请人：

株式会社德山

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

C01B33/107

IPC分类号：

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

吕琳;朴秀玉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-24	公开	公开
2025-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C01B 33/107申请日:20230605

共 50 条

[1]

三氯硅烷的纯化 [P].

B·黑兹尔坦 ;

S·法伦布鲁克 ;

秦文军 .

中国专利 :CN104080735B ,2014-10-01

[2]

三氯硅烷制造装置以及三氯硅烷的制造方法 [P].

弘田贤次 ;

荻原克弥 .

中国专利 :CN111108065A ,2020-05-05

[3]

三氯硅烷制造装置及三氯硅烷的制造方法 [P].

石井敏由记 ;

驹井荣治 ;

佐藤春美 .

中国专利 :CN101643213A ,2010-02-10

[4]

三氯硅烷制造装置及三氯硅烷的制造方法 [P].

石井敏由记 ;

驹井荣治 ;

佐藤春美 .

中国专利 :CN103496704A ,2014-01-08

[5]

纯化氯硅烷类的制造方法 [P].

阪井纯也 ;

饭山昭二 .

中国专利 :CN113302153A ,2021-08-24

[6]

三氯硅烷的制造方法及三氯硅烷的制造装置 [P].

弘田贤次 ;

荻原克弥 .

中国专利 :CN111372892A ,2020-07-03

[7]

三氯硅烷制造装置及三氯硅烷制造方法 [P].

稻叶力 .

中国专利 :CN101417804A ,2009-04-29

[8]

三氯硅烷制造装置以及三氯硅烷制造方法 [P].

生川满敏 .

中国专利 :CN101798086A ,2010-08-11

[9]

三氯硅烷的纯化系统和多晶硅的制造方法 [P].

岸亮太 ;

石田昌彦 ;

祢津茂义 .

中国专利 :CN107867695A ,2018-04-03

[10]

三氯硅烷的制造方法 [P].

秋吉彩生 ;

相本忠 .

中国专利 :CN102753478B ,2012-10-24

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