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基板处理装置以及基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201710850534.7
申请日：
2017-09-20
公开(公告)号：
CN107871689B
公开(公告)日：
2018-04-03
发明(设计)人：
杉冈真治
申请人：
申请人地址：
日本京都府京都市
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
隆天知识产权代理有限公司 72003
代理人：
向勇;崔炳哲
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2018-05-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20170920 |
| 2022-05-17 | 授权 | 授权 |
| 2018-04-03 | 公开 | 公开 |