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基板处理装置以及基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202280052366.6
申请日：
2022-09-27
公开(公告)号：
CN117716478A
公开(公告)日：
2024-03-15
发明(设计)人：
小山裕贵
申请人：
芝浦机械电子装置株式会社
申请人地址：
日本神奈川县横浜市荣区笠间二丁目5番1号
IPC主分类号：
H01L21/306
IPC分类号：
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
黄健;刘芳
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/306申请日:20220927 |
| 2024-03-15 | 公开 | 公开 |