一种高可靠功率器件共晶硅背面金属化结构

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专利类型
实用新型
申请号
CN201521025203.2
申请日
2015-12-11
公开(公告)号
CN205542755U
公开(公告)日
2016-08-31
发明(设计)人
黄赛琴 林勇 黄国灿 陈轮兴
申请人
申请人地址
351100 福建省莆田市涵江区赤港华侨经济开发区
IPC主分类号
H01L23488
IPC分类号
H01L23373
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种高可靠功率器件共晶硅背面金属化层 [P]. 
黄赛琴 ;
林勇 ;
黄国灿 ;
陈轮兴 .
中国专利 :CN205376531U ,2016-07-06
[2]
一种硅片背面金属化共晶结构 [P]. 
冯异 ;
陆宁 .
中国专利 :CN203179893U ,2013-09-04
[3]
背面金属化共晶工艺方法 [P]. 
吴耀辉 .
中国专利 :CN104299922A ,2015-01-21
[4]
可用于共晶焊的P型硅器件芯片背面金属化结构 [P]. 
王仁书 ;
徐永平 .
中国专利 :CN203300630U ,2013-11-20
[5]
一种背面金属化金共晶工艺 [P]. 
王献兵 .
中国专利 :CN112908848A ,2021-06-04
[6]
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苏晋苗 ;
苏冠暐 .
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[7]
一种晶圆背面金属化的方法及晶圆背面金属化结构 [P]. 
杨浩辉 ;
易文杰 ;
吕文利 ;
谢于柳 ;
石褔荣 .
中国专利 :CN114864396A ,2022-08-05
[8]
硅片背面金属化共晶结构及其制造工艺 [P]. 
冯异 ;
陆宁 .
中国专利 :CN103963375A ,2014-08-06
[9]
可用于共晶焊的P型硅器件芯片背面金属化方法 [P]. 
徐永平 ;
王仁书 ;
张俊 .
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[10]
硅器件芯片背面银系溅射金属化 [P]. 
张利春 ;
赵忠礼 ;
高玉芝 ;
宁宝俊 ;
王阳元 .
中国专利 :CN1052750A ,1991-07-03