一种籽晶处理方法和生长碳化硅单晶的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200910236735.3
申请日
2009-11-05
公开(公告)号
CN101985773A
公开(公告)日
2011-03-16
发明(设计)人
王波 陈小龙 彭同华 鲍慧强 刘春俊 李龙远 王刚
申请人
申请人地址
832000 新疆维吾尔自治区石河子市石河子开发区东幸福路98-1号(天富高科技园区)
IPC主分类号
C30B2300
IPC分类号
C30B2936
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种籽晶托及碳化硅单晶生长方法 [P]. 
杨祥龙 ;
徐现刚 ;
陈秀芳 ;
胡小波 ;
于国建 .
中国专利 :CN111910246A ,2020-11-10
[2]
一种籽晶托及碳化硅单晶生长方法 [P]. 
杨祥龙 ;
徐现刚 ;
陈秀芳 ;
胡小波 ;
于国建 .
中国专利 :CN111910246B ,2025-03-14
[3]
碳化硅单晶生长用籽晶及其制造方法和碳化硅单晶及其制造方法 [P]. 
小柳直树 ;
小古井久雄 .
中国专利 :CN102057084B ,2011-05-11
[4]
一种用于碳化硅单晶生长的籽晶处理方法 [P]. 
乔松 ;
杨继胜 ;
杨昆 ;
高宇 ;
郑清超 .
中国专利 :CN106757321A ,2017-05-31
[5]
碳化硅单晶的生长方法、碳化硅单晶、坩埚和生长系统 [P]. 
陈小龙 ;
王国宾 ;
郭建刚 ;
李辉 ;
王文军 ;
盛达 .
中国专利 :CN116288647B ,2025-08-26
[6]
碳化硅单晶生长装置及碳化硅单晶生长方法 [P]. 
王海涛 ;
乔帅帅 .
中国专利 :CN120384329A ,2025-07-29
[7]
碳化硅单晶生长用坩埚结构和碳化硅单晶的生长方法 [P]. 
雍庆 ;
娄艳芳 ;
刘春俊 ;
王光明 ;
姚静 ;
张宁 ;
彭同华 ;
杨建 .
中国专利 :CN113789572B ,2021-12-14
[8]
一种碳化硅单晶生长方法及碳化硅单晶 [P]. 
谢雪健 ;
王兴龙 ;
徐现刚 ;
陈秀芳 ;
胡小波 .
中国专利 :CN115573030A ,2023-01-06
[9]
一种碳化硅单晶生长方法及碳化硅单晶 [P]. 
谢雪健 ;
王兴龙 ;
徐现刚 ;
陈秀芳 ;
胡小波 .
中国专利 :CN115573030B ,2025-03-07
[10]
碳化硅单晶块的制造方法和碳化硅单晶块 [P]. 
谷小桃 ;
矢野孝幸 ;
藤本辰雄 ;
柘植弘志 ;
龟井一人 ;
楠一彦 ;
关和明 .
中国专利 :CN107208311B ,2017-09-26