一种ArF光刻胶用光引发剂三苯基硫鎓盐的制备方法及其应用

被引：0

申请号：

CN202210114463.5

申请日：

2022-01-30

公开(公告)号：

CN114736120A

公开(公告)日：

2022-07-12

发明(设计)人：

贾英明曹辰辉税新凤庞玉东

申请人：

申请人地址：

239500 安徽省滁州市全椒县十谭现代产业园朝阳路006号

IPC主分类号：

C07C6708

IPC分类号：

C07C6963 C07C69753 C07C30332 C07C30917 C07C38112 G03F7004

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

张雅文

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-12	公开	公开
2022-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C07C 67/08 申请日:20220130

共 50 条

[1]

一种ArF光刻胶用光引发剂三苯基硫鎓盐的制备方法及其应用 [P].

贾英明 ;

曹辰辉 ;

税新凤 ;

庞玉东 .

中国专利 :CN114736120B ,2024-05-14

[2]

一种硫鎓盐光引发剂及其制备与应用 [P].

钱晓春 ;

胡春青 ;

于培培 .

中国专利 :CN109134711A ,2019-01-04

[3]

一种硫鎓盐光引发剂及其制备方法和应用 [P].

刘仁 ;

朱乙 ;

徐丹丹 ;

希雅格约瑟夫 .

中国专利 :CN112194742A ,2021-01-08

[4]

基于六苯基苯硫醚的硫鎓盐单分子树脂光刻胶及其制备方法和应用 [P].

李嫕 ;

苑晓冬 ;

陈金平 ;

于天君 ;

曾毅 .

中国专利 :CN117658881A ,2024-03-08

[5]

一种三苯基硫鎓盐的制备方法 [P].

李建 ;

李娟利 ;

杜渭松 ;

刘建韬 ;

张广平 ;

别国军 ;

杨学军 ;

王新亮 .

中国专利 :CN102838518A ,2012-12-26

[6]

一种噻吨硫鎓盐光引发剂及其制备方法和应用 [P].

钱彬 ;

张学龙 ;

徐丽萍 ;

吴群 ;

龚钢 ;

于培培 .

中国专利 :CN118271281A ,2024-07-02

[7]

一种噻吨硫鎓盐光引发剂及其制备方法和应用 [P].

钱彬 ;

张学龙 ;

徐丽萍 ;

龚钢 ;

吴群 ;

于培培 .

中国专利 :CN118271280A ,2024-07-02

[8]

一种芳基硫鎓盐光引发剂、其制备方法及其应用 [P].

朱航 ;

戴小强 ;

朱勤艳 ;

韩立彪 ;

徐伟 ;

范学峰 ;

朱晶伟 ;

樊彬 .

中国专利 :CN120192301A ,2025-06-24

[9]

一种芳基硫鎓盐光引发剂、其制备方法及其应用 [P].

朱航 ;

戴小强 ;

朱勤艳 ;

韩立彪 ;

徐伟 ;

范学峰 ;

朱晶伟 ;

樊彬 .

中国专利 :CN120192301B ,2025-08-12

[10]

香豆素硫鎓盐光引发剂及其制备方法和应用 [P].

朱乙 ;

项清 ;

刘仁 ;

李伦 ;

张丽萍 .

中国专利 :CN117430578A ,2024-01-23

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