沟槽栅IGBT器件的制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010600470.7
申请日
2020-06-28
公开(公告)号
CN111785629A
公开(公告)日
2020-10-16
发明(设计)人
潘嘉 杨继业 黄璇 孙鹏
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
IPC主分类号
H01L21331
IPC分类号
H01L2128
代理机构
上海浦一知识产权代理有限公司 31211
代理人
罗雅文
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
沟槽栅IGBT制作方法及沟槽栅IGBT [P]. 
刘国友 ;
朱利恒 ;
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[2]
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郑大燮 ;
刘博 ;
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[3]
一种沟槽栅IGBT器件及其制作方法 [P]. 
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罗湘 ;
谭灿健 ;
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[4]
沟槽栅IGBT器件、制作方法及仿真方法 [P]. 
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[5]
沟槽栅IGBT芯片的制作方法 [P]. 
姚尧 ;
罗海辉 ;
肖强 .
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[6]
一种沟槽栅IGBT器件结构及其制作方法 [P]. 
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[7]
一种沟槽栅IGBT器件结构及其制作方法 [P]. 
许高潮 ;
薛璐 ;
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中国专利 :CN109461769A ,2019-03-12
[8]
具有沟槽栅的IGBT器件的制造方法 [P]. 
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杨继业 ;
陈冲 .
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[9]
沟槽栅结构的制作方法 [P]. 
潘嘉 ;
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黄璇 ;
张同博 .
中国专利 :CN111785618A ,2020-10-16
[10]
IGBT器件的制作方法 [P]. 
潘嘉 ;
杨继业 ;
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