一种晶圆棒切割设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202021365406.7

申请日：

2020-07-13

公开(公告)号：

CN213382341U

公开(公告)日：

2021-06-08

发明(设计)人：

薛佳勇王海军薛佳伟

申请人：

申请人地址：

300000 天津市北辰区天津北辰经济技术开发区双原道7号

IPC主分类号：

B28D504

IPC分类号：

B28D700 B28D702 B24B2706 B24B5502

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆切割设备 [P].

蔡正道 ;

陶为银 ;

鲍占林 ;

巩铁建 .

中国专利 :CN216264087U ,2022-04-12

[2]

一种晶圆切割设备 [P].

黄晓辉 ;

周永昌 ;

董琪琪 .

中国专利 :CN216884678U ,2022-07-05

[3]

晶圆切割设备及晶圆切割方法 [P].

宋林杰 ;

刘天建 ;

田应超 .

中国专利 :CN115041841A ,2022-09-13

[4]

一种圆棒工件的切割设备 [P].

陈怀珍 .

中国专利 :CN208005763U ,2018-10-26

[5]

晶圆切割设备 [P].

詹苏庚 ;

王红 ;

吴迪 ;

张震 ;

刘天德 ;

周福鸣 ;

揭丽萍 .

中国专利 :CN208118157U ,2018-11-20

[6]

一种晶圆切割装置 [P].

丁波 ;

李铁 ;

陈瀚 ;

侯金松 ;

杭海燕 ;

谷卫东 .

中国专利 :CN220362821U ,2024-01-19

[7]

一种晶圆转切割设备 [P].

许松杰 ;

肖燕霞 .

中国专利 :CN213497205U ,2021-06-22

[8]

一种激光晶圆切割设备 [P].

罗海燕 ;

王丽 ;

汪于涛 ;

骆公序 ;

董岿然 .

中国专利 :CN216177543U ,2022-04-05

[9]

一种高效晶圆切割设备 [P].

汪学丽 .

中国专利 :CN221621154U ,2024-08-30

[10]

一种晶圆片切割设备 [P].

吴俊 ;

袁志伟 ;

向宏阳 .

中国专利 :CN223558758U ,2025-11-18

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