基板检查装置、基板检查系统以及基板检查结果的确认用画面的显示方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180065243.8

申请日：

2011-03-17

公开(公告)号：

CN103328959B

公开(公告)日：

2013-09-25

发明(设计)人：

绀田隆一郎中岛克起

申请人：

申请人地址：

日本京都府京都市

IPC主分类号：

G01N21956

IPC分类号：

G01B1124 H05K334

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

朴海今;向勇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-10-30	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101533528766 IPC(主分类):G01N 21/956 专利申请号:2011800652438 申请日:20110317
2013-09-25	公开	公开
2016-04-13	授权	授权

共 50 条

[1]

检查结果输出装置及基板检查系统 [P].

石羽正人 .

中国专利 :CN1282865A ,2001-02-07

[2]

检查结果输出装置及基板检查系统 [P].

石羽正人 .

中国专利 :CN1059740C ,1997-06-11

[3]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105137255A ,2015-12-09

[4]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

菊池和义 ;

小畑卓也 .

日本专利 :CN118382798A ,2024-07-23

[5]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

高木修 .

中国专利 :CN102331429A ,2012-01-25

[6]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

山本正美 .

中国专利 :CN1721868A ,2006-01-18

[7]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

菊池和义 .

日本专利 :CN117441099A ,2024-01-23

[8]

基板检查装置、基板检查方法以及基板检查程序 [P].

冈崎祥也 .

中国专利 :CN106154097A ,2016-11-23

[9]

基板检查装置系统及基板检查方法 [P].

李承埈 ;

全文荣 ;

李南昊 .

中国专利 :CN103808276A ,2014-05-21

[10]

基板检查系统及基板检查方法 [P].

金本和树 .

日本专利 :CN121208023A ,2025-12-26

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