硅晶片及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410381875.0

申请日：

2014-08-05

公开(公告)号：

CN104347395A

公开(公告)日：

2015-02-11

发明(设计)人：

荒木浩司青木龙彦须藤治生仙田刚士

申请人：

申请人地址：

日本新潟县

IPC主分类号：

H01L21322

IPC分类号：

C30B2906

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

舒艳君;李洋

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-02-11	公开	公开
2015-03-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101601532648 IPC(主分类):H01L 21/322 专利申请号:2014103818750 申请日:20140805
2017-05-03	授权	授权

共 50 条

[1]

硅晶片的制造方法 [P].

须藤治生 ;

荒木浩司 ;

青木龙彦 ;

前田进 .

中国专利 :CN106048732B ,2016-10-26

[2]

硅晶片及其制造方法 [P].

杉村涉 ;

小野敏昭 ;

宝来正隆 .

中国专利 :CN100565820C ,2008-08-06

[3]

硅晶片及其制造方法 [P].

出合博之 ;

高山诚治 .

中国专利 :CN102376749A ,2012-03-14

[4]

硅晶片及其制造方法 [P].

福田真行 ;

中居克彦 .

中国专利 :CN101768777A ,2010-07-07

[5]

硅晶片及其制造方法 [P].

文英熙 ;

金建 ;

高铤槿 ;

皮昇浩 .

中国专利 :CN100373544C ,2005-03-09

[6]

硅晶片及其制造方法 [P].

中居克彦 ;

福岛圣 .

中国专利 :CN101240447B ,2008-08-13

[7]

硅晶片及其制造方法 [P].

间竹达彦 .

中国专利 :CN102148140A ,2011-08-10

[8]

硅晶片及其制造方法 [P].

中居克彦 ;

福田真行 .

中国专利 :CN101675507A ,2010-03-17

[9]

硅晶片和硅晶片的制造方法 [P].

藤濑淳 ;

小野敏昭 .

日本专利 :CN113745093B ,2024-05-10

[10]

硅晶片及其制造方法 [P].

中居克彦 ;

大久保正道 .

中国专利 :CN102108549A ,2011-06-29

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