一种降低接触孔电阻的接触孔形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110265284.3

申请日：

2011-09-08

公开(公告)号：

CN102437098A

公开(公告)日：

2012-05-02

发明(设计)人：

傅昶胡友存张亮郑春生

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L21311

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

王敏杰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-06-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101272512124 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011102652843 申请日:20110908
2012-05-02	公开	公开
2014-06-25	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101702172645 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011102652843 申请公布日:20120502

共 50 条

[1]

一种降低接触孔电阻的接触孔结构形成方法 [P].

傅昶 ;

胡友存 ;

张亮 ;

郑春生 .

中国专利 :CN102437099A ,2012-05-02

[2]

接触孔的形成方法 [P].

尹晓明 ;

王新鹏 .

中国专利 :CN102468223A ,2012-05-23

[3]

接触孔形成方法 [P].

罗飞 .

中国专利 :CN102157435B ,2011-08-17

[4]

接触孔的形成方法 [P].

黄海 ;

黄君 ;

盖晨光 .

中国专利 :CN104733380A ,2015-06-24

[5]

接触孔的形成方法 [P].

刘继全 .

中国专利 :CN106611742A ,2017-05-03

[6]

接触孔的形成方法 [P].

张海洋 ;

孙武 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN102087992A ,2011-06-08

[7]

一种降低接触孔的接触电阻的制造方法 [P].

张亮 ;

傅昶 ;

胡友存 ;

郑春生 .

中国专利 :CN102437096A ,2012-05-02

[8]

一种接触孔形成方法 [P].

贾璐 ;

胡学清 ;

肖培 .

中国专利 :CN102324402A ,2012-01-18

[9]

接触孔栓塞的形成方法 [P].

林艺辉 .

中国专利 :CN106158728A ,2016-11-23

[10]

降低连接孔接触电阻的方法 [P].

聂佳相 .

中国专利 :CN101882597A ,2010-11-10

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