接触孔的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510703687.X

申请日：

2015-10-26

公开(公告)号：

CN106611742A

公开(公告)日：

2017-05-03

发明(设计)人：

刘继全

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

高静;吴敏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-08	授权	授权
2017-05-03	公开	公开
2017-05-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101722959375 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:201510703687X 申请日:20151026

共 50 条

[1]

接触孔的形成方法 [P].

刘继全 .

中国专利 :CN106653680A ,2017-05-10

[2]

接触孔栓塞的形成方法 [P].

林艺辉 .

中国专利 :CN106158728A ,2016-11-23

[3]

接触孔结构的形成方法及该接触孔结构 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN110690166B ,2020-01-14

[4]

接触孔结构的形成方法及该接触孔结构 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN110752183A ,2020-02-04

[5]

接触孔结构形成方法 [P].

聂佳相 .

中国专利 :CN101989570A ,2011-03-23

[6]

一种降低接触孔电阻的接触孔形成方法 [P].

傅昶 ;

胡友存 ;

张亮 ;

郑春生 .

中国专利 :CN102437098A ,2012-05-02

[7]

高深宽比接触孔的形成方法 [P].

赵哲 .

中国专利 :CN112885774B ,2021-06-01

[8]

一种降低接触孔电阻的接触孔结构形成方法 [P].

傅昶 ;

胡友存 ;

张亮 ;

郑春生 .

中国专利 :CN102437099A ,2012-05-02

[9]

接触窗的形成方法 [P].

谢荣源 ;

陈仕锡 ;

韩敬仁 .

中国专利 :CN103531532A ,2014-01-22

[10]

接触孔的形成方法及图像传感器 [P].

徐翼丰 ;

王杰 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN108538871A ,2018-09-14

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