单点线性蒸发源系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310111467.9

申请日：

2013-04-01

公开(公告)号：

CN104099570B

公开(公告)日：

2014-10-15

发明(设计)人：

林进志周皓煜黄俊允

申请人：

申请人地址：

201500 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

聂慧荃;郑特强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-05	授权	授权
2014-10-15	公开	公开
2014-11-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101588367097 IPC(主分类):C23C 14/24 专利申请号:2013101114679 申请日:20130401
2020-08-21	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/24 变更事项:专利权人变更前:上海和辉光电有限公司变更后:上海和辉光电股份有限公司变更事项:地址变更前:201500 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室变更后:201506 上海市金山区金山工业区九工路1568号

共 50 条

[1]

线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P].

王卫卫 ;

李俊峰 ;

何麟 .

中国专利 :CN108754448A ,2018-11-06

[2]

蒸发源、蒸发源系统 [P].

胡海兵 .

中国专利 :CN111378933A ,2020-07-07

[3]

一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置 [P].

张金中 .

中国专利 :CN205443432U ,2016-08-10

[4]

一种用于线性蒸发源中的坩埚及线性蒸发源 [P].

曹景博 ;

李浩永 ;

李文浩 .

中国专利 :CN114635107A ,2022-06-17

[5]

一种线性蒸发源 [P].

彭兆基 ;

张伸福 .

中国专利 :CN104561905A ,2015-04-29

[6]

蒸发源装置 [P].

杨红领 ;

龚智豪 ;

李潍萌 .

中国专利 :CN104294217A ,2015-01-21

[7]

一种蒸发源、组合蒸发源、蒸发源系统及蒸镀设备 [P].

裴凤巍 ;

赵子仪 ;

张金中 ;

黄俊杰 .

中国专利 :CN208328091U ,2019-01-04

[8]

林文晶 .

中国专利 :CN214881792U ,2021-11-26

[9]

赵芳 ;

林成勇 ;

魏锋 .

中国专利 :CN103469161A ,2013-12-25

[10]

林文晶 ;

彭虎 .

中国专利 :CN114657504A ,2022-06-24

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